产品概述
TESKZ600真空探针台可实现高真空和高低温环境下对样品电学性能的测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到10K ~ 325K，低温部分采用闭环制冷机冷却组件（不消耗液氦），真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-5Pa（取决于真空泵）。
对于材料和仪器进行变温（和变气氛）的电学特性(如I-V)和光电特性测量、发光二极管（LED）、场效应晶体管（FET）等半导体器件的参数测量、材料介电特性以及RF特性测量等。适用的材料包括有机（和无机）半导体、纳米线（和纳米管）、量子点，分子电子材料、薄膜材料等。特别适合对微小（亚毫米-微米）器件和器件阵列样品进行快速、准确和无损的测量。
应用
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
技术参数
高低温探针探针台TESKZ600具有4个可以进行微调的探针臂，每个探针臂上的探针都可以进行三维方向上的精准定位。探针采用钨合金探针，减少探针对样品的热传导。每个探针臂都采用304优质不锈钢加G10制作而成，每个探针臂都进行有效的热沉，减小探针臂漏热进而减少探针对样品的漏热，防热辐射屏大大降低了黑体辐射，提高了制冷效率，减少了液氮消耗。样品台上装有温度传感器和加热器，实现样品台快速变温以及精准控温。
- 真空样品腔直径：定制
- 腔体真空度：10^-5mbar；
- 腔体漏率：1*10^-8Pa.M3
- 样 品 台：25mm
- 位移精度：10μm
- 针尖直径：1μm
- 窗口直径：100mm
- 窗口材质：熔融石英
- 探针臂配置：4个探针臂，可实现DC测量及光纤辐射。
- 温度范围：10K~325K.
- 磁场强度：1T
- 控温精度：0.1K
- 温度控制系统：PID温度控制，PID温度控制器分辨率：±0.1℃，传感器温度误差：任何一区段0.5%，温度稳定性优于：+/- 0.1K；
- 样品台X-Y-Z轴行程≥12.5mm *12.5mm ，移动精度≤10μm，带真空波波纹管结构；
- 样品台加热功率：功率≥80W
- 真空腔接口：配备一个KF25真空抽气口，一个快速破真空进气口，一个6pin电信号接口法兰，一个6pin电信号接口。
- 导通真空腔体 X 方向移动行程100mm Y-Z 方向移动行程分别为12.5mm 移动精度5微米 高真空电信接口法兰 屏蔽轴线缆 探针漏电：<100fA 。
显微镜（1套）
变焦范围：0.75~5倍，总放大倍率：18~150倍；工作距离: 75mm；光源：LED点光源，亮度可调；C-mount接口，显微镜调焦支架：行程50mm，带粗微调；扩展接口：可加物镜；
工业相机（1套）
HDMI输出接口 2000万像素 2微米分辨率 USB鼠标控制 USB可接电脑软件控制 配21寸显示器 （可以沟通）
样品直径： 20mm 10mm 1mm
电极尺寸：0.3mm
